MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술 사업으로 진행되고 있는 기술 개발 과제명은 초소형
3. MEMS 와 Semiconductor
유사성
초기 투자 비용이 많은 장치 산업
유사한 제조 공정을 사용
장시간의 공정 시간 소요
양산 체제 구축 후 단시간에 양질의 제품을 대량생산이 가능
저 비용으로 고성능의 제품 개발
신뢰성 및 재현성이 우수
저 에너지에서의 고속 동작이 가능
군사용에서 상
소형화 시대
Key Word : 소형화 & 미세화
소형화가 시대적 추세로서 다양한 분야에서 소형, 초소형의 새로운 장치들을 개발하고 기존의 장치를 대체하는
패러다임으로 사용되고 있다.
Key Word : 마이크로 엔진
엔진과 같은 동력장치에도 미세한 크기에서 높은 출력을
가지는 동력 장치 (마이크로 엔
1) 나노 입자와 이들의 응집체 제조 및 응용
에어로졸 반응기에 의하여 상업적으로 생산되는 분말 재료는 보통의 경우 분말들이 다양한 결합력으로 접합되어 있는 응집체로 되어 있다. 가장 작고 구형인 입자를 1차 입자라고 하는데, 응집체는 비교적 크기가 일정한 이들 1차 입자들이 약한 반데르발
-개요-
MEMS란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개