마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수
마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수
마이크로미러 어레이(Micromirror array), 정보통신 및 자동화기기에 응용하기 위한 마이크로스위치, 의료용기기에 응용하기 위한 마이크로밸브 등은 제품개발단계를 넘어 제조단가 감소 및 응용확대를 위한 연구개발이 이루어지고 있다.
· 마이크로머신 가공기술반도체 공정을 주로 사용하는 마
센서를 대량으로 재현성 있게 생산하는 데 필요한 생체정보 신호처리 시스템 및 그 플랫폼 제작에 응용이 기대되는 자기 센서를 이용한 바이오센서에 대한 연구는 1998년 미국 해군연구소(Naval Research Lab.: NRL)에서 85㎛×5㎛ 크기의 GMR 센서를 사용하여 단일 마이크로 입자 측정에 성공 한 것이 최초이다. 2
기술로 일컬으며, MEMS 부품이란 수십에서 수백 마이크론 크기의 아주 작은 기계적인 구조물을 마이크론 단위의 정밀도로 가공하고 여기에 전자회로를 결합 또는 집적화시켜 원하는 기능을 수행할 수 있도록 만든 초소형 시스템을 말한다. (그림 2)에서 보았듯이 MEMS 기술의 변천사를 살펴보면 아래와 같