![[진공기술, 진공, 진공펌프, 진공장치, 진공도측정도구, 피라니게이지] 진공기술의 응용과 진공펌프의 분류 및 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지에 관한 분석-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/359/358656-0001.gif)
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분야
hwpⅡ. 진공펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane pump)
2) 루츠 펌프(Roots pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump
3. 그밖의 펌프
1) Stream ejecter 펌프
2) Water jet 펌프
Ⅲ. 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지
참고문헌
진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체의 집적도가 높아지고 양자소자 개발 등 첨단기술이 발전하면서 그 중요성은 날로 증가하고 있다. 다음은 진공기술이 응용되고 있는 대표적 분야들이다.
- 첨단산업 : 반도체, FED
- 미래산업 : 우주항공, 핵융합, 신소재 개발
- 산업응용 : TV브라운/모니터, 기계/광학부품 코팅, 보온병, 램프, 냉동기
- 의약 화학 식품 : 의약품 생산, 식품보관, 진공건조식품, 진공증류
- 첨단과학 : 가속기, 표면분석장치, 질량분석
진공 기술의 응용을 위해서는 진공 펌프를 이용하여 진공상태를 만들어야 되는데, 진공을 처음 대하는 사람은 우선 많은 종류의 펌프를 보고 놀랄 것이다. 또 진공 시스템을 보면 적어도 두 종류 이상의 펌프가 사용됨을 보고 의문을 가질 수 있는데, 이는 무엇보다도 모든 압력 영역에서 또는 원하는 작업 환경에서 작동되는 이상적인 펌프가 없기 때문이다.
Ⅱ. 진공펌프의 분류
펌프의 종류는 사용 가능한 압력에 따라 저진공, 고진공, 초고진공 등으로 나눌 수 있으나, 어떤 펌프를 어떤 압력에서 사용한다는 명확한 경계가 없고, 제조회사나 사용방법에 따라 조금씩 차이가 난다. 또한 작동 원리에 따른 분류로는 크게 positive displacement 펌프와 entrapment 펌프로 나눌 수 있다.
- positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프(rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프
배석희 외 2명 : 진공공학, 한국경제신문
배석희·인상렬·정광호·이영백·신용현(2000) : 진공공학, 한국경제신문, 한경BP
안일신(1999) : 진공물리 및 진공기술, 한양대학교 출판부
정석민·이진원·박종윤(2001) : 진공과학입문, 청문각
