![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0001.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0002.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0003.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0004.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0005.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0006.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0007.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0008.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0009.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0010.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0011.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0012.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0013.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0014.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0015.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0016.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0017.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0018.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0019.gif)
![[반도체] 박막 증착 방법의 종류-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/382/381515-0020.gif)
분야
ppt저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)
대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD)
-물리 기상 증착법(PVD)
금속의 증기를 사용하는 증발(evaporation) 증착법
물질에 물리적인 충격을 주는 방법인 Sputtering 증착법
-Atomic Layer Deposition(ALD)
저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)
대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD)
-물리 기상 증착법(PVD)
금속의 증기를 사용하는 증발(evaporation) 증착법
물질에 물리적인 충격을 주는 방법인 Sputtering 증착법
-Atomic Layer Deposition(ALD)
http://icm.re.kr/board/skin/default/index.jsp?id=1107&tablename=forum_ematerial&sn=&ss=on&sc=on
http://bionano.hanyang.ac.kr/new/sub2/profile24.php
http://www.taegutec.co.kr/Section.asp?CountryID=2&MenuItemID1=7&SectionID=69
http://www.srckr.com/bbs/zboard.php?id=data
http://www.seongwooinst.com/data/thin-film-intro.pdf
ppt자료로 만든 것입니다.
각 방법 마다 자세한 원리, 장점, 단점을 알기 쉬운 그림과 함께 보기 편하게 정리 하였습니다.
발표 수업 중에 최고 점수를 받은 자료입니다.
