[반도체공정]원자힘 현미경(Atomic Force Microscope)

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레포트 > 공학계열
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소개글

[반도체공정]원자힘 현미경(Atomic Force Microscope)에 대한 자료입니다.

1.AFM 이란?
2.Key!!- Cantilever!
3. How to measure?
4.NON CONTACT AFM
5.Contact AFM
6.AFM SAMPLE
7.Features of AFM
8.Application

본문내용

캔틸레버의 탐침은 시료표면에 적용되는 힘이나 AFM의 lateral resolution을 결정.
Silicon , silicon nitride로 만듦
길이 100-200㎛, 넓이 40㎛, 두께 0.3-2㎛
표면에 수직하게 야기되는 반발력
반발력은 1~10 nN
작은 힘에도 매우 민감하게 반응하여 0.01 nm 정도로 미세하게 움직이는 것까지 측정
미세한 표면형상의 변화
캔틸레버 spring constant
(0.01~0.005 Nm)

1. Micro – Roughness Measurement
2. Hsg Poly-Silicon Metrology
3. Post CMP Metrology
4. Defect Review
5. Dopant Profiling

#반도체공정 #원자힘 #Microscope #반도체 #Atomic

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