소개글
ESEM 레포트에 대한 자료입니다.
목차
1.Reference
2.Introduction
3.SEM과 ESEM의 비교
4.ESEM의 구조와 원리
5.ESEM의 장점 및 단점
6.Applications
7.Discussion
본문내용
PLA란Differential Pumped Vacuum Zone System을 통한 시료실과 전자 광학계 사이의 압력 분리
PLA를 통해 입사전자빔을 통과시키고, Gas의 흐름을 제한한다.
시간경과에 따른 상태 변이 관찰 가능
응력, 압축, 변형, 크랙 증식, 흡착, 가열, 냉각, 융해, 결빙, 수화, 탈수, 승화
신호증폭
시료표면에서 방출되는 전자전류 신호를 수백 배 이상 증폭하여 충분한 S/N비로 신호의 검출이 가능하다
참고문헌
Experimental Verification and Modeling for Gaseous Secondary Electron Detection Mechanism in the Environmental Scanning Electron Microscope
- Yong-Kee Kwon
Short overview about the ESEM
- Krisada Kimseng / Marcel Meissel
Forensic application of ESEM and XRF-EDS techniques to a fatal case of sodium phosphate enema intoxication
- G. Viel & G. Cecchetto & L. D. Fabbri & C. Furlan & S. D. Ferrara & M. Montisci
http://en.wikipedia.org/wiki/ESEM - Wikipedia