고체산화물, 인산형, 알칼리형 그리고 고분자 전해질 연료전지로 구분된다. 마지막의 고분자 전해질 연료전지는 고분자 전해질을 사용하는 것인데 운전온도가 90℃ 이하이고 소형 경량화가 가능하다는 점에서 휴대용 전자기기의 전원으로 연구가 많이 되고 있다. 특히 메탄올을 연료로 사용하는 DMFC는
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
.
.
.
4. 고찰
이번 실험은 KOH, CaCl2, KCl을 가지고 온도에 따른 용해도를 측정하는 실험이었다.
용해도 곡선은 온도가 증가할수록 용해도가 증가하는 그래프로 나타났다. 이것은 질량측정 그래프와 비슷한 양상으로 그려졌는데, 질량측정 그래프는 온도에 따라 얼마만큼의 용질이 녹는지를 나타
문제 제기
- 반도체의 집적도 증가에 따라 미세 오염물 제거 문제
- 기존 RCA법의 오염물 다량 배출 (H2O2,HCL,DI water)
및 고가 운영비
- 지표면 오존의 심각성(오존주의보)
wafer 세정에서 RCA 세정법을 대체 할 친환경 & 고기능 세
정제 및 공정 개발 (고체산 + 오존수 2단계 공정)
반도체 세