1. 실험목적
SOL-GEL법을 이용하여 구형의 SiO2와 TiO2 nano powder를 합성한다.
2. Sol-Gel 법의 분류 및 공정
Sol-gel법이란 “졸겔 세라믹스”를 제조하는 방법을 뜻한다. 즉, 졸→겔→세라믹스의 과정을 거치는 공벙을 말한다. 여기서 졸(sol)이란 일반적으로 1~1000nm정도의 입자들(콜로이드)로 이루어져
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
1. History
■ 1846년 Ebelmen : 규산에스테르의 가수분해반응을 이용하여 겔을 만듦
■ 1959년 Shott사 : 금속알콕사이드를 이용하여
SiO2막이나 TiO2-SiO2막을 판유리 위에 형성 연구
■ 1970년대 : 유리 분야 뿐만 아니라 졸의 겔화시 섬유, 벌크 소결체나 코팅막
으로 열
Sol-Gel process
Sol-Gel 방법은 알콕사이드(alkoxide) 화합물을 물과 에탄올 혼합용매에서 산 또는 알칼리 촉매를 이용하여 SiO, TiO와 같은 입자를 제조하는 방법이다.
졸(Sol)이란 일반적으로 1~1000 nm 정도의 입자들로 이루어진 콜로이드 서스펜션을 말한다. 이들은 중력의 작용이 무시될 정도로 입자의 크기가
Sol-Gel법
Sol: 액상에 고체입자가 분산되어 있는 콜로이드
- Aerosol : 기상에 고체입자 혹은 액적이 분산
- Emulsion : 액상에 액적이 분산
Gel: Sol의 입자들이 물리적인 힘으로 연결되어
형성(gelation)된 망상조직.
- Xerogel : 상압에서 Sol용액을 증발시켜 얻은 젤
- Aerogel : 고온 감압 하에서
1. 문제제기
① 화장실에 대한 사람들의 인식 변화
: 과거에는 “뒷간은 멀수록 좋다”라는 속담에서 볼 수 있듯이 화장실은 필요악의 존재로 여겨져 왔다. 대소변을 보는 행위는 인간이 살아가기 위해 필요한 기본적인 일임에도 불구하고 단순히 악취와 세균 전염의 온상지로 여겨져 지극히 거북
초략
SiC재료란?
1891년 Acheson에 의해 최초로 합성된 인공화합물
1970년대 초까지 높은 경도를 활용한 연마재에 주로 사용됨
중략
-일반적으로 대형로(Acheson로)에서 합성
-Ingot 형태로 제조 가능
-Ingot의 중앙부에서 고순도 분말 획득가능
-경제적, 다용도의 분말제조 가능
저온 합성법
-C
염료 감응형 태양전지는 반도체 접합형 태양전지와는 달리, 고체/액체 접합의 광전
기화학형이며 가시광선을 흡수하여 전자-홀 쌍 (electron-hole pair)을 생성할 수 있
는 감응성 염료분자와, 생성된 전자를 전달하는 전이금속 산화물을 주된 구성 재료
로 하는 광전기 화학적 태양전지이다. Fig. 2.2. 에서
. 개요
세라믹스 물질은 금속이나 고분자 재료와 비교하여 내열성, 내마모성, 내식성이 우수하고 비중이 낮으며 고온에서도 높은 강도를 유지하는 등 여러 장점이 있으나 세라믹스 고유의 취성 및 이에 따른 낮은 신뢰도 때문에 세라믹스를 구조재료로 실제 응용하는데 많은 제한이 있다. 특히 취성