Nanoparticles present possible dangers
- due to the high surface to volume ratio
pass through cell membranes in organisms
Smaller nanoparticles evinced increased cytotoxicity.
Self-assembly :
process that disordered system of components forms an organized structure or pattern
The device is switched on - >
the pump pushes ions across the lipid membrane,
Let’s start from the transistor. How many of you know about the transistor?
Basically, the transistor can be categorized in two parts, which are BJT and FET
In easy words, BJT uses current to make the transistor work, and FET uses Voltage.
A bipolar transistor has terminals labeled base, collector, and emitter. A small current at the base terminal, which is flowing t
2-2. ICP
1) ICP 정의
아르곤(Ar)을 플라즈마 가스로 이용하여 고주파 발생기로부터 발생된 주파수(2.45GHz) 영역에서 유도코일에 의해 발생된 플라즈마 발생소스에는 평판형(planar)(와선형), 나선형(helical)(실린더형)
이 있다.
2) ICP의 원리
Coil에 고주파 가하면 자기장 발생
챔버 주위로 원형의
(Up) Schematic diagram of apparatus used for RIE in semiconductor processing.
(Right) RIE system from Eidgenossische Technishe Hochschule Suiss Federal Institute of Technology
(http://www.ifm.ethz.ch/mems/eq_rie.htm
Wafer가 놓이는 전극에
RF전압을 인가하고, 공정압력을
낮게 유지하여 Plasma 중의 양이온이
Plasma sheath를 통해 가속되게
함으로써
1. Dry Etch; PR 등의 보호막으로 가려져 있지 않은 부위의 막질 제거
2. Ashing; PR 제거
3. Plasma Nitridation; 얇은 산화막 등 유전막의 특성 개선을 위한 표면 처리
4. Plasma Oxidation; Transistor의 특성 개선을 위한 표면 처리
5. 유전막 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition); SiON 등의
유전막 증착
6. Barrier Meta