working distance에 의해서 영향을 받는다. Working distance가 길어지면 depth of field도 길어진다.
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또한 위 식에서 볼 수 있듯이, NA가 커질수록 △Z는 작아지고(초점심도가 작아진다.), NA가 커질수록 resolution은 작아지는데, resolution이 작아진다는 의미는 분해능이 향상됨을 뜻한다.
2.5. Signal (SE / BSE)
①
2.본론
2-1. 현미경이란
현미경의 정의는 사람의 눈으로 관찰이 불가능한 미세한 물일이나 기타샘플을 광학 렌즈와 적당한 빛을 이용하여 자신이 원하는 크기로 확대시켜주는 것을 의미한다.
예전부터 눈으로 볼 수 있는 것보다 더 작은 것을 보고자 한 인류는 16세기에 이르러 확대경을 만들게 되었으
Controlling aperture size related to the amount of electrons.
As aperture size changes
1. Probe convergence angle
2. Probe current
3. Probe diameter
The portion of a scene that appears acceptably sharp in the image.
Easily speaking, range in focus.
D.O.F is in inverse proportion to
radius of aperture size(RAP) (WD: Working distance)
BSE(Back Scattered Electron)란?
- BSE는 SE와 비슷하게 금속면에 전자를 충돌시켰을 때 금속 내부에 있던 전자가 그 에너지의 대부분을 흡수하고 튀어 나오는데, 그 전자를 BSE라고 한다. 이것은 SE와 비슷하게 취급하지만 그 성질이나 용도가 다르기 때문에 SE와 구별된다.
■ SE(Secondary Electron)와 BSE(Back Scatter