때 생기는 전자를 뜻한다. 고속이온이나 X선 등의 입사에 의해 생기는 전자도 Secondary Electron이라 하는 경우가 있다. Secondary Electron은 에너지가 비교적 낮고 표면형상에 대한 상세한 정보를 제공한다. 뿐만 아니라 검출기의 제작비용이 저렴하고 제어하기 쉽기 때문에 SEM의 기본 검출기로 사용되고 있다.
재료에 대한 이러한 종합적인 이해를 위해 신소재공학개론이라는 교과목을 바탕으로 직접 실습하여 보고자 한다.
2. 실험 목적
재료를 제조하여 보고 관찰 함 으로써 전반적인 재료 제작 과정과 XRD, SEM 을 이용한 관찰 방법을 이해한다. 또한 실험변수 및 절차, 과정에 대한 이론을 알고 이를 토대
실험을 통해 MgO 첨가에 따른 물성과 특성에 변화를 관찰하고자 한다.
◎ 실험기구
SEM
샘플표면의 고분해능의 이미지를 형성하는데, 빛보다 백스케터드 전자나 이차 전자등을
사용하여 나타내는 현미경
▶ SEM의 작동원리
SEM은 그 구조가 크게 광학계 본체와 모니터가 보이는 제어계등으로 이
특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시편을 beam이 투과하여 관찰하므로 2차적인 또는 단면적인 구조를 나타내지만 SEM은 시료 위를 주사된 상을 관찰하므로 3차원적인 입체상을 관찰할 수 있다.
※반도체 제조공정 중 기존의 lithograph 공정과 잉크젯 프린팅 공정의 차이와 잉크젯 프린팅 공정을 적용하였을 경우 얻어지는 장점
A. 반도체 제조공정 중 기존의 lithograph 공정
1.Photolithography
리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트 제거에 이르는