X-ray photoelectron Spectroscopy는 광전자분광법(XPS)중 광원으로서 X선을 이용하는 방법으로 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)라고도 한다. X선이 물질에 입사하여 흡수되면 그 에너지에 의해서 허용되는 내각전자로부터 가전자까지 여기되어 원자는 이온화한다. 이 여기된 전자는 고체 시료의 경우, 일부
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
보통 SE라고 하는 것은 이차 전자, 혹은 자유 전자를 말한다. 예를 들어 금속면에 어느 에너지 이상으로 가속된 전자를 충돌시키면 금속 내부의 전자가 그 에너지의 대부분을 흡수하여 일함수 이상의 에너지를 가지게 되어 금속 바깥으로 방출되는데 이 현상을 2차 방출이라고 한다. 이때, 금속에 충돌시
1. 목적
Mg-Ca alloy의 열처리 시간에 따른 기계적 특성 및 내식성을 평가한다.
2. 이론조사
2.1 Mg-Ca alloy의 일반적인 특성
Mg-Ca 합금은 Ca이 첨가됨에 따라 결정립의 크기가 작아지는 특성을 보이면서 경도, 강도가 강해진다. 또한 Mg2Ca가 Mg와 갈바닉 전지를 형성하여 합금의 내 부식성을 증가시킨다.
6) 프로테오믹스의 장래성
세계 단백질체학(프로테오믹스)시장은 1994년 그 이론이 제시된 이후로 2000년대까지 괄목할만한 성장을 하였다. 한창이었던 2002년이었던 경우에는 연평균 프로테오믹스 관련 기업 성장률이 18%가 될 정도로 크게 성장하였고 유명 컨설팅 업채인 BCC Reserch가 2014년까 19.7%의 폭