[공학]반도체 공학설계

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레포트 > 공학계열
2010.01.11
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소개글

[공학]반도체 공학설계에 대한 자료입니다.

1. Univex 450 Evaporator
2. MBE (Molecular Beam Epitaxy)
3. Effusion Cell

본문내용

1. Univex 450 Evaporator

1) 구 조
메인 챔버, 기판홀더, Boat, 컨트롤러박스, 로터리 펌프, 터보펌프, 냉각수 흘려주는 장치

2) 주요 성능
전압을 이용해 저항열을 발생시킨다. 이 열에 의해 원소를 증발시켜 기판에 증착시켜 원하는 시료를 얻게된다.

3) 작동 순서
가) 메인 전원스위치를 켠다.
나) 유리기판을 세척하여 폴더에 고정시킨후 장착한다. 유리기판 세척은 티시,
아세톤메탄에 5분간 한다.
다) 챔버뚜껑을 내리고 밴드밸브를 잠근 후 로터리펌프를 15분간 돌린다.
(진공확인mbar 이상)
라) 터보펌프를 20분간 돌린다.
마) Power Supply Control 패널 스위치와 열데이터의 전원을 켜고 목표 Voltage까지 3분동안 서서히 증가시킨다. (진공확인)
바) 목표 Voltage 도달한 후 10분동안 상태유지 후 챔버 아래의 기판로데이터를 돌려서 증착위치에 맞춘다.
사) 목표로 한 증착 시간 동안 증착후에 기판을 돌리고 Voltage를 5분 동안 서서히 낮춘다
아) Power Supply와 멀티미터의 전원을 끄고 터보펌프도 끈다.
자) 40분후에 로타리 펌프를 멈추고 동시에 벨트벨브를 열어준다.
차) 챔버의 뚜껑을 올려서 시편을 꺼낸다

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