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레포트 > 공학계열

[반도체] X-ray Fluorescence Analyzer

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레포트 > 공학계열
2010.04.26
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소개글

[반도체] X-ray Fluorescence Analyzer에 대한 자료입니다.

Introduction
XRF의 원리
기기 구성
반도체 검출기
시료의 전처리
데이터 분석
응용

본문내용

특성X선(Characteristic X-rays)의 파장은 Target 물질을 구성하고 있는 원소에 따라
그 고유의 값을 갖음,,,, K, L, M, ... 등의 계열로 분류.

각 계열의 파장은 K < L < M ... 순이며,같은 계열에서도 근접한 몇 개의 파장군으로 구성됨.
K계열(K series) 는 Ka1, Ka2, Kb1, ...,
L계열(L series)는 La1, La2, Lb1, Lb2, Lb3, Lg1, ...,

시료를 용액으로 처리하지 않고서 비파괴
분석할 수 있으며, 가벼운 원소인 Boron
에서 Uranium까지의 전 원소를 수십 %에
서 미량까지 신속, 정확하게 분석할 수 있는
분석기

p- n 접합형(p- n junction type)

n형과 p형 반도체를 접합하는 것
구조가 간단함
n형 층에서의 에너지 손실이 문제
분해능은 다소 떨어진다

표면장벽형 검출기(surface barrier detector)

n형 반도체의 한면을 부식시킨 다음 산화환경에서 금막을 증착

Li 드리프트형(p- i- n형)

p형과 n형과의 사이에 i층(intrinsic region : 眞性領域)이라 불리우는 진성반도체 부분을 형성

전기저항이 매우 높고 두터운 공핍층이 됨

Ge(Li) γ선의 검출효율이 훨씬 좋고 부피가 큰 검출기도 입수 가능
γ선의 측정, 특히 에너지 측정에 널리 사용

Si(Li)는 3∼10㎜ 두께의 것이 저에너지(< 30eV)의 X선, γ선이나 고에너지 β선의 측정에 적합

고순도형(pure Ge type)

저온에서 전기저항이 매우 높고, 높은 바이어스 전압 가능
유지하기에 편하고, 에너지 분해능도 Ge(Li)에 비하여 손색없음
큰 것은 매우 비쌈

참고문헌

Jay H. Lehr and Randy D. Down, ‘Environmental Instrumentation and Analysis
Handbook’, John Wiley & Sons Inc, 2004
G.W. 프레이저, 문신행, ‘X선 검출기’, 민음사, 1998
구양모, ‘X선 과학과 응용’, 아진, 2000
성학제, 김태삼, 정강섭, ‘ 분석기기의 기능 확장(XRF PW 1400과 IBM PC-AT의 연결), 2004
http://www.hyupjin.co.kr/algoboard/content.asp?code=hyup0002&number=307&ref=253&page=1&startpage=1
http://www.hitek.co.kr/products/ate/ourstex_100fa.htm

#and #에너지 #X #X선 #분석 #검출기 #전자 #of #선

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