![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0001.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0002.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0003.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0004.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0005.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0006.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0007.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0008.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0009.gif)
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![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0011.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0012.gif)
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![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0014.gif)
![[화학공학]RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO nanocrystals-SiO2-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459628-0015.gif)
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분야
ppt2.Sputtering
3.Abstract & Introduce
4.Experimental details
5.Results and descussion
6.Conclusion
기판위에 박막을 증착하기 위한 빔이나 가스의 흐름을 만들어내면서 물질을 증발시키거나 때린다.
∎Chemical Vapor Deposition(CVD)
가열된 기판위에서 분해되는 반응적이고, 휘발성의 화합물을 사용한다. 시작물질은 열분해되어 비 휘발성의 박막물질과 펌프로 배기시킬수 있는 기체상태로 분리된다.
∎ Sputtering
높은 에너지를 가진 입자들이 target에 충돌하여 target 원자들에게 에너지를 전달해줌으로써 target원자들이 방출되는 현상이다.
* target (음극, 캐소드) : 모든 종류의 스퍼터링에서 박막이 만들어지는 덩어리
In this paper discuss luminescence properties for multilayer structures of ZnO nanocrystals embedded in SiO2, which were produced by magnetron sputtering.
* Use TEM & PL
