![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0001.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0002.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0003.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0004.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0005.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0006.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0007.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0008.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0009.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0010.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0011.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0012.gif)
![[화학공학]Zn증기 산화와 합성된 ZnO 나노구조-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/460/459629-0013.gif)
분야
ppt2.Experimental
3.Results and discussion
4.Conclusion
3.37eV의 넓은 밴드갭 과 60meV의 큰 엑시톤 결합 에너지를 가지고 있는 ⅱ-ⅵ 화합물 반도체이며 진성 n형 반도체
ZnO 나노구조는 수평관 퍼니스에서 Zn 증기를 산화 시킴으로써 합성
원료 물질 : Zn 파우더
기판 : 2㎛ 금으로 코팅된 p형 Si 웨이퍼
① Ar 가스를 300㎤/min 로 30분 동안 반응기에 주입하여 정화시킨다.
② 퍼니스가 각각 620, 770, 840, 900도의 온도로 상승하면 80㎤/min으로 Ar과 O2로 30분간 유지시킨다.
③ Ar이 흐르는 동안 퍼니스를 상온으로 냉각시키면,
솜털같이 하얀 ZnO파우더가 기판 위에 관찰된다.
Zn증기를 산화시켜 합성된 ZnO 나노구조의 전계 방출 특성과 형태상에서 합성온도의 영향을 연구한 것으로 620, 770, 840, 900도의 성장온도 각각에서 multipods, tetrapods, nanoneedles, nanowires 가 합성된 것을 볼 수 있다. 그리고 이 성장은 기체 액체 고체 과정에 영향을 받으며 다양한 합성온도에서 다양한 결정핵생성 밀도를 가지고 전계방사특성과 같이 ZnO형태에 영향을 미치는 것을 알 수 있었다.
