재료공학 기초실험 - SEM 을 통한 미세구조 관찰[SEM을 이용 BaTiO3의 첨가제에 따른 grainsize에 대한실험]
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분야
hwp주사 전자 현미경(SEM)은 말 그대로 주사 전현의 상(Scanning Electron Microscope)을 화상으로 볼 수 있는 장치를 뜻한다. SEM은 상부에 위치한 E-Gun의 Filament로부터 전자빔이 방출되어 각각의 components를 지나 시료에 전자 빔이 조사되고 시료에 조사된 전자 빔과 시료에서 반응 및 반사되어 나오는 각 전자를 검출기가 검출하여 이미지로 만들어 낸다. 시료에서 반응되어 나오는 전자들은 표면에서부터 30nm깊이에서 나오는 이차전자와 30nm~300nm사이에서 나오는 후방산란전자가 나오며 이를 검출하여 이미지화한다.
SEM은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이며, 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 대단히 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 광학현미경으로 불 수 있는 것보다 복잡한 표면구조 나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비이다. 활용도도 매우 다양해서 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, 생체 시료와 유가공 제품 등 전산업 영역에 걸쳐 있다.
