SEM?
Scanning electron microscope
To analysis surface of specimen
Qualitative analysis at certain point
Operation principal of SEM
Emission electron from filament
Accelerate electron by electric field
Focusing electron by lens → mono-chromatic electron beam
Generate secondary electron and etc.
Detection of electron
SEM(주사전자현미경)이다.
2. 전자 현미경의 원리
① SEM (Scanning Electron Microscope)
주사전자 현미경(SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 50A정도의 해상력을 지닌 것이 상품화되어 있고, 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 10A이하의 해상력을
제공하기 때문에 영상의 저장
은 물론 영상에 대한 다양한 분석이 가능.
5. 다양한 검출기 및 주변기기를 장착하여 응용
분야를 확장 가능.
단 점
1. 여러 가지 복잡한 장치가 요구.
2. 전자빔을 이용하기 때문에 진공이 필수적.
3. 전자현미경은 크고 복잡하며 가격 또한 비쌈.
1. SEM이란?
SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 관찰하는데 매우 유용하게 사용되는 분석기기 중 하나이다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 분해능 (Resolution)은 illumina
특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시편을 beam이 투과하여 관찰하므로 2차적인 또는 단면적인 구조를 나타내지만 SEM은 시료 위를 주사된 상을 관찰하므로 3차원적인 입체상을 관찰할 수 있다.