1. 서론
의식주는 인간의 가장 기본적인 생활이다. 그중에서도 식생활이 차지하는 중요성은 매우 높다. 특히, ‘국’과 ‘찌개’의 문화를 가지고 있는 한국사회의 식생활에서 냄비는 없어서는 안 될 중요한 역할을 한다. 광택이 나며 녹이 슬지 않고 깨끗이 씻기 쉬우며 오래 사용할 수 있다는 특성
Advantages:
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high growth rates possible
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can deposit materials which are hard to evaporate
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good reproducibility
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can grow epitaxial films
Disadvantages:
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high temperatures
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complex processes
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toxic and corrosive gasses
PE CVD
PE CVD공정은 Plasma etching 이 사용되기 이전부터 반도체 금속배선의 보호막인 SiN과 SiO2를 저온에서 증착할 수 있는 새로운 생성원으로 소개
PE CVD기술은 SiO2와 SiN 박막 형성 뿐만 아니라 최근에는 천이금속이나 천이금속 실리사이드 형성에도 널리 사용
PE CVD의 박막 형성 mechanism
Plasma 에서 이
Mechanism , 그것을 움직이게 하는
Micro Actuator를 하나로 하는 시스템을 일컬음.
MEMS 기술의 개요
- 전자(반도체)기술, 기계 기술,
광기술 등을 융합하여 Micro단위의
작은 부품 및 시스템을 설계, 제작,
응용하는 기술을 일컫는다.
- Size Domain 상으로는, Micro 영역에 해당된다.