제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
1. Introduction
1.1 TEM이란?
TEM(투과전자현미경)은 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 직접배율의 범위는 통상 100배에서 100만배 가량으로 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 더 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐
X선(X-Rays)은 진공중에서 고전압에 의하여 가속된 초고속의 전자(Electron)를 만들어 음극(Target)에 충돌 시키면 발생한다.이때 전자의 운동에너지의 대부분은 열로 변환되며, X선(X-Rays)의 에너지로 변환되는 비율은 다음식과 같이 일반적으로 0.1% 정도로 아주 작다.
Ⅰ. X선(엑스선)회절실험 소개
1912년 X-선의 파장을 측정하는 방법이 개발되었다. 회절을 이용한 측정법이 가장 이상적인 것으로 생각되었으나 만족할 만한 결과를 얻기 위해서는 회절격자의 인접선 사이의 간격이 빛의 파장과 거의 같아야 하며, 이와 같이 X-선의 파장에 대응되는 좁은 간격의 회절격
특성X선(Characteristic X-rays)의 파장은 Target 물질을 구성하고 있는 원소에 따라
그 고유의 값을 갖음,,,, K, L, M, ... 등의 계열로 분류.
각 계열의 파장은 K < L < M ... 순이며,같은 계열에서도 근접한 몇 개의 파장군으로 구성됨.
K계열(K series) 는 Ka1, Ka2, Kb1, ...,
L계열(L series)는 La1, La2, Lb1, Lb2,