영상 뿐만 아니라 원자의 배열에 따른 회절패턴이 중요하므로 double-tilt specimen stage가 필요
전자빔과 시편과의 상호작용에 의하여 열이 발생하기 때문에 열적 진동에 따른 image 및 회절패턴의 흐려짐(blurring)을 방지하기 위하여 cold-stage double tilt specimen holder를 사용하면 좋음
Viewing System
Projector
the de Broglie wavelength Estimate the wavelength of electrons that have been accelerated from rest through a potential difference of 40kV
Mechanism ofTEM
가속 전자를 광원으로 사용
광원으로 쓰이는 전자는 음전하를 띠고 있어서 전자파나, X-선에 비하여 물질과 아주 민감하게 반응하여 강하게 회절되므로 국부적인 원자배열의 흐트
전자현미경의 개발배경
-광학현미경의 분해능인 빛의 파장의 한계인식
-전자의 발견 및 전자파동설의 대두
(전자빔의 경우 De Broglie equation에 따라 파동성을 갖는다)
-전자의 자계에 의한 렌즈작용의 이론화
-TEM의 개발(1931)
-SEM의 개발(1938)
배경이론
- 독일의 물리학자 압베 (E. Abbe)가
SEM?
Scanning electron microscope
To analysis surface of specimen
Qualitative analysis at certain point
Operation principal of SEM
Emission electron from filament
Accelerate electron by electric field
Focusing electron by lens → mono-chromatic electron beam
Generate secondary electron and etc.
Detection of electron
전자는 검파기(detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(cathod ray tube)에 상을 형성한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시편을
[반도체] Transmission Electron Microscopy(TEM)
[물리화학] Mechanism of TEM
[기기분석] 주사현미경(SEM), AFM
