1. 연구 동기 및 목적
Plasma 발생에 필요한 전압을 만들어내는 회로와 Electric energy가 소리의 형태로 바뀌는 과정에 관심
Plasma speaker를 만들면서 관련 이론을 이해하고 나아가 Plasma speaker의 음질에 영향을 주는 요인들에 대해 알아보려고 했다.
2. Plasma speaker의 원리
Plasma speaker는 자기장을 이용하
Introduction
What is Plasma?
Plasma is the fourth state of matter;
solid, liquid, gas and plasma.
Composition matter of universe
What is Atmospheric plasma?
It is easier to produce plasma in low pressure condition than atmospheric, but producing plasma in vacuum state needs many devices.
So, many researcher study that how to produce plasma in atmospheric condition.
This pictur
1. Dry Etch; PR 등의 보호막으로 가려져 있지 않은 부위의 막질 제거
2. Ashing; PR 제거
3. Plasma Nitridation; 얇은 산화막 등 유전막의 특성 개선을 위한 표면 처리
4. Plasma Oxidation; Transistor의 특성 개선을 위한 표면 처리
5. 유전막 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition); SiON 등의
유전막 증착
6. Barrier Meta
PE CVD
PE CVD공정은 Plasma etching 이 사용되기 이전부터 반도체 금속배선의 보호막인 SiN과 SiO2를 저온에서 증착할 수 있는 새로운 생성원으로 소개
PE CVD기술은 SiO2와 SiN 박막 형성 뿐만 아니라 최근에는 천이금속이나 천이금속 실리사이드 형성에도 널리 사용
PE CVD의 박막 형성 mechanism
Plasma 에서 이
1. PDP (Plasma Display Panel)의 개요
(1) 개요
플라즈마(Plasma)는 이온(양전하)과 전자(음전하)가 같은 양으로 혼합하여, 자유입자에 가까운 행세를 하면서 전기적으로 중성을 유지하고 있는 현상을 나타냅니다. 쉽게 말해서 플라즈마란 기체상태의 물질에 열을 가하여 이온과 전자로 분리된 전기를 띤 입자