- Nano
․ 길이를 나타내는 단위 : (10억분의 1 ).
․ 어원 : 라틴어 'nanus(난장이)'
지구를 1로 보면 1.3센티미터의 구슬이 나노의 세계이다.
․ ‘나노 스케일’은 인간의 눈으로 볼 수 없다.
1953년 제임스 왓슨, 프랜시스 크릭 DNA 이중나선 구조를 발견했지만, 주사(走査)프로브현미경(SPM, Sc
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
항공운송시장에서의 상품, 시장과 고객
항공운송시장에서 판매되는 상품은 무형의 서비스로서 일반적인 개념의 상품과는 크게 다르다. 시장의 구성에 있어서도 역시 여행의 목적과 대상에 따라 상이한 세부시장으로 나누어지며, 시장의 고객도 다양한 여행자집단으로 구분된다. 운송서비스로 구
1.이론 및 원리
★ SEM
시료에 입사된 전자빔의 상호작용으로 다음 3가지 종류의 신호가 발생된다.
후방산란전자
2차 전자
X선 형광
★ AFM
주사탐침현미경
(SPM; scanning probe microscope)
탐침을 시료에 근접시켰을 때 바늘 끝이 느끼는 근접장 상호 작용을 이용하여 표면 형상뿐 아니라 다양한 물리
SPM (Scanning Probe Microscope)
SPM is a branch of microscopy that forms images of surfaces using a physical probe
the interaction between end of the tip and surface of sample
not only the images of surface of sample but also the various physical properties of sample
The components of SPM
Probe
optical mechanic part to detect interactions
three-dimensional nano scanner part
di
1. Purpose
이번 실험에서는 단백질 칩의 제조기술을 알아본다. 본 과정은 박막의 형성과 기판 상에 제작된 박막의 확인, 그리고 microarray를 이용하여 완성된 단백질 칩의 형광 분석법을 통한 활성의 확인, 이렇게 두 단계로 나누어져 있다. 이를 통해 기초적인 단백질 칩의 제조기술과 형광스캐너의 사
The GZO, MZO thin films were prepared on ZnO pre-sputtered glass substrate using RF Sputtering Technique. Morphological, Structural and Electrical properties of deposited films were investigated in comparison with pure ZnO Thin film by scanning electronic microscopy (SEM), Atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction (XRD), PL spectra and other electrical analytic method. SEM images showed al
AFM) 리소그래피 시스템 개발
□ 과학기술부 21세기 프론티어 연구개발사업으로 추진중인 테라급 나노소자개발사업단(단장 : 이조원)의 한양대학교 이해원 교수 연구팀은 원자힘 현미경(Atomic Force Microscope) 리소그래피 기술의 고속화 실현을 위한 세계 최고속 AFM 리소그래피 시스템 및 고속 나노패턴 제
AFM 리소그래피 시스템과 고속 나노패턴 제작 전용 고감도 레지스트를 개발했다고 28일 밝혔다.
과기부에 따르면 이번에 고속 AFM 리소그래피 전용 시스템은 광 리소그래피의 고속 나노 구조물 형성속도와 AFM 시스템의 고해상성 기술을 접목해 종전보다 10배 이상 빠른 1cm/s 이상의 속도에서도 기판위의