Introduction
What is Plasma?
Plasma is the fourth state of matter;
solid, liquid, gas and plasma.
Composition matter of universe
What is Atmospheric plasma?
It is easier to produce plasma in low pressure condition than atmospheric, but producing plasma in vacuum state needs many devices.
So, many researcher study that how to produce plasma in atmospheric condition.
This pictur
Introduction (What is plasma?)
1. Definition of plasmaPlasma is one of the four fundamental states of matter, along with solid, liquid, and gas. It is an ionized gas consisting of a collection of charged particles, including ions, electrons, and neutral atoms or molecules. Plasma can be found naturally in the universe in the form of stars, lightning, and auroras, but it can also be artif
-화학 기상 증착법(CVD)
저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)
대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD)
-물리 기상 증착법(PVD)
금속의 증기를 사용하는 증발(evaporation) 증착법
물질에 물리적인 충격을 주는 방법인 Sputtering 증착법
-At
● Definition of plasmaPlasma is one of the four fundamental states of matter, along with solid, liquid, and gas. It is an ionized gas consisting of a collection of charged particles, including ions, electrons, and neutral atoms or molecules. Plasma can be found naturally in the universe in the form of stars, lightning, and auroras, but it can also be artificially created and controlled for
The atmosphere shields us from the sun's cancer-causing ultraviolet (UV) radiation and also moderates the earth's climate.
The atmosphere is obviously vital for human existence, but we have nevertheless been polluting it for years.
The atmosphere is obviously vital for human existence, but we have nevertheless been polluting it for years.
The atmosphere can be divided vertically into four m
1. Introduction
1) Definition of preservation and food-spoilage micro-organisms
Food preservation is the process of treating and handling food to stop or greatly slow down spoilage (loss of quality, edibility or nutritive value) caused or accelerated by micro-organisms. Some methods, however, use benign bacteria, yeasts or fungi to add specific qualities and to preserve food (e.g., cheese, wine
서론 (플라즈마란?)
1. 플라즈마의 정의
플라즈마는 고체, 액체, 기체와 함께 물질의 4대 기본 상태 중 하나입니다. 이온, 전자 및 중성 원자 또는 분자를 포함하는 하전 입자 집합으로 구성된 이온화된 가스입니다. 플라즈마는 별, 번개, 오로라의 형태로 우주에서 자연적으로 발견될 수 있지만 플라즈
[3] Thin Film Deposition
초집적 반도체를 구성하는 소자들은 그 특성상 그 크기가 매우 얇아(작고) 미세한 조직을 가진다. 그리고 이것은 박막 증착(TFD = Thin Film Deposition) 공정을 통해 제작된다. 박막 증착이란 이름 그대로 표면에 얇은 막을 씌우는 기술을 뜻하는데 이 공정을 통해 기판(substrate)이나 이전에
PE CVD
PE CVD공정은 Plasma etching 이 사용되기 이전부터 반도체 금속배선의 보호막인 SiN과 SiO2를 저온에서 증착할 수 있는 새로운 생성원으로 소개
PE CVD기술은 SiO2와 SiN 박막 형성 뿐만 아니라 최근에는 천이금속이나 천이금속 실리사이드 형성에도 널리 사용
PE CVD의 박막 형성 mechanism
Plasma 에서 이
1. 용접의 개념
금속과 금속을 충분히 접근시키면 이들 사이에는 뉴튼의 만유인력에 따라 금속 원자간에 인력이 작용하여 서로 결합하게 된다. 이 결합을 이루려면 원자들을 10nm정도 접근시켜야 하는데 이와 같은 일은 평상시에는 일어나지 않는다. 그 이유는 보통조건에서는 금속표면에 산화막이 존