4. 실험장비
① E-Beam Evaporator
PVD(Physical vapor deposition)의 한 방법으로 전자빔을 이용하여 박막을 형성하는 것이 E-Beam Evaporator이다. 그림5.는 E-beam장치의 구조도이다. 장치안의 필라멘트에 매우 높은 전압을 가하면 필라멘트에서 에너지를 가진 열전자들이 방출된다. 이 부분을 electron gun이라하고 여
이번 실험에서는 Source와 Drain을 만들지 못하고 Si위에 와 Pt를 올려서 만들었고 그림은 다음과 같이 볼 수 있으나 원리는 MOSFET와 같다고 볼 수 있다.
1) 산화공정(Oxidation)
열 산화법은 산화층 내부와 SiO2/Si 계면에 결함을 거의 생성시키지 않는 방법으로서 우수한 특성의 절연막을 형성시킬 수 있는
1) 산화공정(Oxidation)
열 산화법은 산화층 내부와 SiO2/Si 계면에 결함을 거의 생성시키지 않는 방법으로서 우수한 특성의 절연막을 형성시킬 수 있는 기술이다. 이 기술은 산화 반응에 사용되는 기체의 종류에 따라 건식 산화(dry oxidation)법과 습식 산화(wet oxidation)법으로 구분되는데, 반응기체로 순수한
② Thermal Evaporator
각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유전체(SiO2)의 박 막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 Torr까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 박막은 보통 0.5 Aring/sec ~ 1.0 Aring/sec의 증착 속도로 증착을 하
Figure 13 shows that cryo pump is cooling pump. It means this pump is cooling, liquefaction and store air, not pumping. Generally, it has 3 processes like condensation, absorption and trap at low temperature. The cooled air or molecules do not have any momentum so it is no possibility to heat any molecules. It means vacuum.
Cryo pump have High emission velocity and high emission capacity so it
AFM images of produced ZnO thin film samples in ratio of 5:5(a) and 7:3(b)
Although both surfaces of sample is almost smooth, You can see the more oxygen concentration is contained, the bigger grain sizes of surface is observed.
O2 content of working gas increased,
created bigger grains
transmittance increased
band gap energy increased
refractive index decreased
had more semiconducto
2. 본 론
고분자의 기능성과 그것을 응용하고 있는 사례들은 너무나도 많다. 그 중에서 몇가지 관심을 가질 수 있는 기능성 고분자 필름에 대해서 조사하고 정리를 해 보았다. 포장 필름과 광학 필름에 대해 알아보고, 그에 대한 각자의 관심이 있는 분야을 알아보자.
1. 포장 필름
1) 포장의 기능
탄소와 다이아몬드의 구분
다이아몬드는 순수 한 탄소(C)가 고온 고압에서 특정한 형태로 결정화 된 광물이다. 흑연도 탄소(C)로 이루어진 광물이지만 이들이 서로 다른 점은 이것들은 동일한 화학성분이지만 결정형태가 다르다.
결정형태에 따라 다이아몬드 또는 흑연이 되는 것이다. 바로 이 결정