증착, 오염된 고체 표면의 컷팅, 깊이 방향과 조성변화를 조사하기 위한 이온에칭, 온도변화에 대한 메커니즘 규명을 위한 온도제어, 가스처리 등이 행하여 진다.
측정실 : 시료를 여기시키는 전원, 시료로 부터 방출되는 광전자 에너지를 분별하는 에너지 분석기, 전자 검출기 등으로 되어 있다.
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
장점도 있다.
그러나 기기의 가격이 비싸다는 단점이 있다.
X-ray Photoelectron Spectroscopy 의 응용분야로는 첨가제 분석, 화학 구조 규명은 물론 시료 표면 원소의 정성 및 정량, 결합 에너지 준위, 수직 분포 분석, 그리고 반도체에서 Gate oxide와 같이 두께가 얇은 oxide의 두께를 측정하는 데에 사용된다.
입자는 물질과 상호작용을 하는데 이때에 빛의 에너지와 물질의 특성에 따라 그 양상이 다르다. 이를테면 상대적으로 높은 에너지를 가진 X-선은 일반적으로 물질의 내부 전자의 전이(transition)를 유발시키지만, 그보다 작은 에너지의 자외선은 원자가전자(valence electron)의 전이에 관여하며, 적외선의 경
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가