2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Clean room 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인
CAFETERIA - DAY
Fun-time. Total chaos. If youve been to high-school you know the riff.
Bad food, teen-age melodrama, and a squadron of SUPERVISORS trying to keep
a lid on things.
ALEX
makes her way to the far corner of the cafeteria where a cluster of kids
lounge around a table. These are Alexs FRIENDS. And while none of them
are your garden variety pocket-protector-type nerds, these k
Clusters of shark cartilage float through the water like white ghosts.
The Captain, the Science Officers and the entire Crew just stare,
frozen in place by the strage horror before them.
CUT TO:
9 INT. SHINKAI 9000 - NIGHT
The vessel cruises through the valley of death.
Everyone is nervously taking readings, making calculations and
adjusting equipment. Gone is the excitement and euphoria of the r
Sputtering), 전자빔 증착법 (E-beam evaporation), 열 증착법(Thermal
evaporation), 레이저분자빔 증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스 레이저 증착법(PLD, Pulsed Laser Deposition) 등이 그것인데, 이번 실험에서 사용한 증착법은 전자빔 증착법이다.
전자빔 증착법은 박막을 증착시킬 때, 증착시키고자 하는 물질을
③ PVD(Physical Vapor Deposition)
PVD는 증착시키려는 물질이 기판에 증착될 때 기체 상태가 고체 상태로 바뀌는 물리적인 변화를 이용한 방법을 말한다. 다른 증착법과는 다르게 저온에서 간단히 박막을 증착할 수 있는데, 다음과 같이 여러 증착법이 있다.
스퍼터링(Sputtering), 전자빔 증착법 (E-beam evapora