ITO 특성이 충분히 고려되어야 한다. 유기EL 소자제작공정은 기본적으로 박막이 도포 되는 영역에 기준 하여 진행이 되므로 Plastic 기판 상에서도 적용이 가능한 장점을 가지고 있으나 이는 장래의 기술적인 도전과제로 남겨 두어야 할 것 같다.
유기EL의 Pattern 형성을 위한 공정은 각 단위 공정이 각종
세정방법으로 나눌 수 있다. RCA세정공정 중 SC1 (Standard Clean-1, APM) 세정공정은 암모니아, 과산화수소 그리고 물을 1:1:5의 비율로 혼합아여 75-90 ˚C 정도의 온도에서 particle과 유기 오염물을 제거하기위해 사용되고 있다. 암모니아에 의한 웨이퍼 표면의 에칭과 과산화수소에 의한 웨이퍼 표면의 산화 반
기판에 칠하는 것으로 대단히 간단한 구조를 갖는다. 막 두께는 0.1mm이다. 본래 막과 그것을 연결하는 2층의 전극만 필요하며, 기판은 보강 물질에 지나지 않는다. 때문에 유리 기판이 아니라 플라스틱 기판도 좋으며 스테인리스 기판도 좋다. 유기EL TV도 17인치급의 두께가 1.4mm 정도로 얇다. 이 때문에
화상을 표시하는 방법으로 TFT-LCD에서 TFT를 제외한 모든 부품을 제거하고 대신 얇은 유기 재료층을 TFT 위에 형성시킨 것과 유사한 개념이다. 이는 각 화소마다 TFT가 붙어 있어 소비전력이 작다고 해상도 등의 화질이 우수하다는 장점이 있다.
③ PM-OLED와 AM-OLED의 특성
Table 1 PM-OLED와 AM-OLED의 장단점