스테인레스강 등으로 만들어진다.
<그림1>볼밀링장치
2. FESEM (Field Emission Scanning Electron Microscopy)
LAGP-PP와 AL-PP 그리고 일반 폴리프로필렌 분리막의 모폴로지를 확인하기 위해서 각각의 분리막에 금으로 코팅한 뒤 field emission scanning electron microscopy(FESEM, S-4800, Hitachi, Japan)를 사용해 분석했다.
나. 실험 준비물
Dry etcher, FE-SEM, ICP, Si wafer 시료
다. 실험 과정
1) Cleaning, Oxidation, Photolithography 공정을 마친 wafer 시료를 준비한다.
2) 시료의 표면을 FESEM으로 찍은 후 표면의 감광제 모형인 마스크 패턴을 확인한다.
(식각 전 패턴 사이즈 측정)
3) ICP 장비의 반응 Chamber에 시료를 넣는다.
4) Chamber를 대
- 대칭 냉간 압연의 경우 모든 두께 층에서 평면 변형에 의한 전형적인 집합조직이 발달한다. 하지만 표면층의 전단응력이 내부까지 미치지 못하기 때문에 표면의 전단 변형량이 중심보다 크게 된다. 이러한 중심층과 표면층의 불균형은 압하율이 클 수록 더 심화 된다.
비대칭 압연 : 상 ․ 하부
1980년대부터 집합조직을 방위분포함수(ODF, orientation distribution function)으로 정 량적으로 표현하기 시작했고, 현재 집합조직을 연구하는 대부분의 연구는 집합조직을 X-선 회절법이나 EBSD(electron backscattered diffraction)로 측정하여 방위분포함수로 계산하 고 있다.
3. 실험 장치 및 방법
3-1. SEM(Scanning
green, blue color가 random하게 나타나는 것을 관찰할 수 있다. 이는 각각의 color에 해당하는 방위를 갖는 결정립들이 무질서하게 배열되어 있으며, 따라서 무질서한 집합조직(texture)을 갖는다 하겠다. 그에 반해 시편 B의 경우 <그림 2>에서 보듯이 ND는 blue color가, RD는 green color가 뚜렷하게 관찰된다. Color key를