1. Dry Etch; PR 등의 보호막으로 가려져 있지 않은 부위의 막질 제거
2. Ashing; PR 제거
3. Plasma Nitridation; 얇은 산화막 등 유전막의 특성 개선을 위한 표면 처리
4. PlasmaOxidation; Transistor의 특성 개선을 위한 표면 처리
5. 유전막 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition); SiON 등의
유전막 증착
6. Barrier Meta
1. 수소연료전지
연료전지란 연료와 산화제를 전기화학적으로 반응시켜 전기에너지를 발생시키는 장치이다. 이 반응은 전해질 내에서 이루어지며 일반적으로 전해질이 남아있는한 지속적으로 발전이 가능하다. 연료전지는 '전지'라는 말이 붙어있기는 하지만 일반적인 전지와는 다르다. 전지는 닫힌
Ⅰ. 서 론
에너지는 우리인간이 생존하고 있는 곳에 많은 편리함과 이로움을 주고 있다. 에너지를 통해 우리의 삶이 풍요롭고 문화적 혜택을 직간접적으로 누리게 된다. 만약에 에너지 고갈 사태가 지속된다면, 대도시에 정전이 일어나 암흑세계로 바뀌어 전선망, 통신을 담당하는 통신망, 그리고 전
1. 연료전지의 기본원리
1839년 초에 윌리엄 그로브(William Grove)는 수소와 산소로부터 전기를 만들어내기 위해서 물의 전기분해를 반대로 뒤집음으로써 연료전지의 기본적인 작동원리를 발견하였다. 연료전지는 연료와 산화(酸化)제가 공급되는 동안 화학적 에너지를 전기적인 에너지로 연속적으로