![[화학] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정 결과 레포트-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410038-0001.gif)
![[화학] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정 결과 레포트-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410038-0002.gif)
![[화학] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정 결과 레포트-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410038-0003.gif)
![[화학] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정 결과 레포트-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410038-0004.gif)
![[화학] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정 결과 레포트-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410038-0005.gif)
![[화학] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정 결과 레포트-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/411/410038-0006.gif)
분야
hwp2.실험순서
1) 기판 준비
2) 증착 과정
3)끌 때
3. 실험 결과
(1) 시료별 증착 속도와 압력 강하 및 그에 따른 측정값
(2) 시료의 질량변화
(3) 시간에 따른 chamber내의 압력변화
(4) 압력 변화에 따른 챔버 안의 증발된 분자량(ALQ3 분자량 : 459.44g/mol)
4. 고찰
5. 참고문헌
3. 실험 결과
(1) 시료별 증착 속도와 압력 강하 및 그에 따른 측정값
시료
증착 속도(Å/S)
처음 압력(Pa)
1분후 압력(Pa)
증착 시작시 전류(A)
전압(V)
누적증착량
(kA)
1
0.5
5.0X10-3
3.0X10-3
43.5
1.2
0.051
2
1.0
5.0X10-3
3.5X10-3
47.8
2.0
0.180
(2) 시료의 질량변화
질량
시료
실험전 총무게
실험후 총무게
차이
1
1.728(g)
1.721(g)
0.007(g)
2
1.754(g)
1.749(g)
0.005(g)
(3) 시간에 따른 chamber내의 압력변화
(4) 압력 변화에 따른 챔버 안의 증발된 분자량(ALQ3 분자량 : 459.44g/mol)
증착 속도
0.5Å/S
1Å/S
실험전 boat+ALQ3
1.728
1.754g
실험후 boat+ALQ3
1.721
1.749g
증발된 ALQ3 분자량
-0.8078 x 10-8 mol
-0.6058 x 10-8 mol
[계산식] - 이상기체로 가정한다.
T = 298K
V = 10L
= 458.98 로 둔다.
증착 전,
증착 후,
W1 : 처음 시료의 무게 , W2 : 증착 후의 시료 무게
: 다른 표면에 증착하거나 vacuum pump로 빠져나간 양.
로 하여 Alq3의 무게를 구한다.
