클린룸이 형성되고 관리기준이 만들어짐.
클린룸은 환경 제어를 위한 고도의 청정 기술과 다양한 제어 기술이 집약된 에너지 다소비 설비이다
3) 클린룸(Crean Room)에서 통제되는 것들: 기류
수평층류방식
- 환기회수가 커 단 시간내 청정도
유지 가능
- 바람의 영향으로 바람의 상류 측
에서
1.공정입자의 발생원인과 그로인한 영향
우선 원인으로 공정과정중 작업자의 호흡과 땀등으로 통한 입자 발생을 꼽을 수 있다. 이러한 원인으로 인하여 NH3,탄화수소 등의 입자가 발생하게 되는데 이로인해 공정입자가 발생하게 된다. 또한 cleanroom을 구성하는 콘크리트나 내부에 존재하는 기구들의 재
2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Cleanroom 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인
room facilities' and 'Lack awareness of Echo'
To avoid 'Worn-out room facilities'(one of weakness) and 'Lack awareness of Echo'(one of treats), remodel Commodore's facilities Eco-friendly. For example, there are theme night light which use solar heat, use of pollution-free wallpapers and tiles, and replacement of air-conditioners, TVs, lights to less electricity consumption products.