FE-SEM, it was proven that Nb can indeed precipitate as particles below 50nm (as low as 10 nm).
FE-SEM was successfully used in characterizing Nb precipitate as low as 10 nm (comparable to the capabilities of a TEM). It was found that by increasing the accelerating voltage from 5kV to 15kV improved the EDS acquisition by taking advantage of the high peak-to-background ratio inherent in thin s
결정내에 다른 물질과의 화합물이나 독립적으로 존재하거나 같은 4가 양이온인 Si자리에 치환되었을 가능성도 생각해볼 수 있으나. Si의 원자번호는 14번, Zr의 원자번호는 40번으로 그 크기의 차이가 심하기 때문에 치환되었을 가능성은 낮고, amorphous로 존재할 가능성이 높다.
4.2 FE-SEM
4-1
4-2
장점 : 저온상을 비교적 정확히 구분
Martensite의 habit plane의 방향성 판단
단점 : 상이 여러 개 존재하는 경우
특정 상을 구분하기 위한 시편 준비가 힘듦
광학현미경, 전자현미경
여전히 시각적 영상과 경험에 의존
주관적 판단에 따른 오류가능성
그렇다면
종래의 방식들을
2) PL 측정
다음 그래프는 Photoluminescence의 줄임말인 PL로써 빛을 흡수하고 특정 파장에서 발산한 빛의 파장의 영역을 나타낸 것이다. 우리 조는 흡수한 빛 중 365mm의 파장을 선택해 발산된 빛을 측정해보았다. 우리가 예상한 가장 높은 밀도의 픽 영역을 450mm인 Yellow 색을 예상했지만 실험 결과 약 475mm로
1. 주사전자현미경 (SEM, FE-SEM)
- 개요 -
NT(Nano Technology)의 연구가 증가하면서 자연스럽게 미세구조물 또는 재료의 표면 형상에 대한 정보가 요구되고 있는 것이 현재의 추세이다. 이러한 요구를 충족시키기 위하여 전자현미경이 계발 되었다.
주사전자현미경(SEM)은 Torr 이상의 진공 중에 놓인 시료표
- 대칭 냉간 압연의 경우 모든 두께 층에서 평면 변형에 의한 전형적인 집합조직이 발달한다. 하지만 표면층의 전단응력이 내부까지 미치지 못하기 때문에 표면의 전단 변형량이 중심보다 크게 된다. 이러한 중심층과 표면층의 불균형은 압하율이 클 수록 더 심화 된다.
비대칭 압연 : 상 ․ 하부
green, blue color가 random하게 나타나는 것을 관찰할 수 있다. 이는 각각의 color에 해당하는 방위를 갖는 결정립들이 무질서하게 배열되어 있으며, 따라서 무질서한 집합조직(texture)을 갖는다 하겠다. 그에 반해 시편 B의 경우 <그림 2>에서 보듯이 ND는 blue color가, RD는 green color가 뚜렷하게 관찰된다. Color key를
1980년대부터 집합조직을 방위분포함수(ODF, orientation distribution function)으로 정 량적으로 표현하기 시작했고, 현재 집합조직을 연구하는 대부분의 연구는 집합조직을 X-선 회절법이나 EBSD(electron backscattered diffraction)로 측정하여 방위분포함수로 계산하 고 있다.
3. 실험 장치 및 방법
3-1. SEM(Scanning
나. 실험 준비물
Dry etcher, FE-SEM, ICP, Si wafer 시료
다. 실험 과정
1) Cleaning, Oxidation, Photolithography 공정을 마친 wafer 시료를 준비한다.
2) 시료의 표면을 FESEM으로 찍은 후 표면의 감광제 모형인 마스크 패턴을 확인한다.
(식각 전 패턴 사이즈 측정)
3) ICP 장비의 반응 Chamber에 시료를 넣는다.
4) Chamber를 대
FE-SEM, Model: JSM-6701F) and atomic force microscopy (AFM, Digital Instrument, nanoscope III) operated at room temperature, respectively. The electrical properties of the films were determined using Hall measurement system (Van der Pauwconfiguration, Hilton, Australia) at room temperature. Optical absorption studies were carried out by using UV-Vis spectrometer (Cary 100, Varian, Mulgrave, Austr