SEM은 시료 표면에서 발생한 이차 전자의 신호량의 대소를 검출기로서 점의 명암으로 영상화하는 것.
집속렌즈는 전자총을 빠져나온 전자선을 모아주는 역할을 한다.
대물렌즈는 시료에 조사되는 전자선의 크기를 결정한다.
→ 대물렌즈와 시료표면 사이의 거리(Working Distance)를 조절하여 초점
SEM?
Scanning electron microscope
To analysis surface of specimen
Qualitative analysis at certain point
Operation principal of SEM
Emission electron from filament
Accelerate electron by electric field
Focusing electron by lens → mono-chromatic electron beam
Generate secondary electron and etc.
Detection of electron
전자현미경의 개발배경
-광학현미경의 분해능인 빛의 파장의 한계인식
-전자의 발견 및 전자파동설의 대두
(전자빔의 경우 De Broglie equation에 따라 파동성을 갖는다)
-전자의 자계에 의한 렌즈작용의 이론화
-TEM의 개발(1931)
-SEM의 개발(1938)
배경이론
- 독일의 물리학자 압베 (E. Abbe)가
2. 실험결과
2.1. 머리카락
Figure 2-1. 머리카락 SEM image(20kv, x700)
가속전압 20kv, 확대율 700배로 관찰한 머리카락의 SEM Image이다. 머리카락의 직경은 약 67.77um이며, 층상구조의 표면을 가지고 있는 것으로 확인할 수 있었다. 머리카락 옆에 달라붙은 물질은, Carbon tape의 접착 물질이 붙은 것으로 보인다.
정확한 정보를 기반으로 기업의 경영을 지원하는 SEM
가. SEM(Strategic Enterprise Management)의 정의
- 기업의 각종 경영정보를 정확히 분석하고 파악하여 경영진이 가치중심 경영을 전사적으로 구현할 수 있도록 지원하는 시스템으로 전략적 기업경영은 기업의 경영정보를 보다 정확히 파악하여 임원 및 최고
1980년대부터 집합조직을 방위분포함수(ODF, orientation distribution function)으로 정 량적으로 표현하기 시작했고, 현재 집합조직을 연구하는 대부분의 연구는 집합조직을 X-선 회절법이나 EBSD(electron backscattered diffraction)로 측정하여 방위분포함수로 계산하 고 있다.
3. 실험 장치 및 방법
3-1. SEM(Scanning
특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시편을 beam이 투과하여 관찰하므로 2차적인 또는 단면적인 구조를 나타내지만 SEM은 시료 위를 주사된 상을 관찰하므로 3차원적인 입체상을 관찰할 수 있다.
만들게 되었으며 이는 현미경개발로 이어지게 되었다. Leeuwenhoek의 단안렌즈현미경에서 시작하여 복합현미경을 거쳐 현재 많은 현미경이 개발되고 있는 실태이며 신소재공학뿐이나리 생명공학, 정밀공학 등 많은 과학적분야에서 쓰이고 있다.
그림2. SEM의 기본구조
그림3. SEM의 모습
2-2. SEM
1. SEM이란?
SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 관찰하는데 매우 유용하게 사용되는 분석기기 중 하나이다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 분해능 (Resolution)은 illumina
장점 : 저온상을 비교적 정확히 구분
Martensite의 habit plane의 방향성 판단
단점 : 상이 여러 개 존재하는 경우
특정 상을 구분하기 위한 시편 준비가 힘듦
광학현미경, 전자현미경
여전히 시각적 영상과 경험에 의존
주관적 판단에 따른 오류가능성
그렇다면
종래의 방식들을