공정이 필수적
-연마헤드(Polishing Head)
연마를 위해 웨이퍼를 부착하여 이송하고, 연마중에는 웨이퍼를 패드면에 접촉시켜 압력가함
연마헤드의 구성 요소
웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 척(Wafer chuck)
웨이퍼가 연마 중에 이탈하는 것을 방지하는 리테이너 링(Retainer Ring)
이들 부위를 지지하
Light Emitting Diode(LED) Process Design
- Team Project Report(Group12)
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅰ. LED
LED(Light Emitting Diode)는 반도체에 전압을 인가할 때 생기는 발광현상을 이용한 광원이다. 전기를 통해주면 전자가 에너지 레벨이 높은 곳에서 낮은 곳으로 이동하면서 특정한 파장의 빛을 내는 화합물 반도체에