Crosstalk among neighboring interconnects
Capacitive crosstalk roughly proportional to kc=CIMD /CILD
⇒ Mainly fixed by the aspect ratio of lines and vias
⇒ Crosstalk level increases at each new generation
Induces delay uncertainty
A low-κ dielectric materials with a dielectric constant less than the dielectric constant of silicon dioxide, κ<4
First low-κ was applied at the
LCR meter
LCR 미터는 고분자의 유전상수를 측정할 수 있는 장치이다. LCR미터의 측정원리를 알아보고, 측정용도와 사용방법에 대해 간단히 알아 보도록 하겠다. 그리고 주어진 과제를 통해 PDMS의 유전상수를 예측하는 과정에 대해 논해보고 유전상수를 줄이므로 해서 얻어지는 이점과 더불어 이를 공학적
현미경 column의 맨 위쪽에 위치
필라멘트, shield, anode등으로 구성된 전자총과 집광렌즈로 구성
- Tungsten ( Hair Pin 형), LaB6형, Field Emission (FE) 형 등의 전자총 (Electron Gun)을 장착하여 발생된 전자선을 여러 단계에 걸쳐서 가속관에서 가속시킴
specimen manipulation system
시편은 Cu로 만들어진 grid에 부착