2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Clean room 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인
2. 이론
Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Clean room 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 한다.
◦ Cleaning & Wet-Station 의 중요성
모든 반도체 공정은 오염물들의 근원이고 이는 소자의 성능과 수율에 직접적인
Wet etching
SiO2
N-type
Si
N-type
SiO2
⦁SiO2 that does not have PR is removed by wet etching and also remaining PR is removed by acetone.
Source Drain Opening
○ SiO2 Deposition ( 100nm ) ○ PR(positive) Coating
SiO2
SiO2
N-type
Si
N-type
SiO2
⇒
PR
SiO2
SiO2
N-type
Si
N-type
Si
[서론]
- 선화증권이란?
무역거래에 있어서 매매당사자는 서로 다른 국가에 위치하고 있기 때문에 그 사이에는 무역운송의 기간 및 구간이 개재하게 된다. 송화이과 운송인 사이에 체결되는 운송계약에서는 외국의 수화인은 사전에 물품을 검사할 기회도 갖지 못한다. 이러한 시간적, 공간적 장애
Ⅰ. 서론
대형 유통업체들의 지방진출 전략은, 부산, 대구, 대전, 광주 등 지역의 유통업체들을 위기감 속으로 몰아넣고 있으며, 전반적인 불경기에도 불구하고 각 지역에서 속속들이 들어서고 있는 대규모 유통업체의 공사현장을 지켜보고 있는 지방유통업계 종사자들의 마음을 더욱 착잡하게 만들