조성분석 : 원자 내각전자의 결합 에너지는 고유한 값을 가지고 있으므로 구성원소를 분석할 수 있다.
정량분석 : 시편의 표면에서 나오는 광전자 피크의 면적이나 높이를 이용하여 구성 원소의 조성비나, 원소를 정량할 수 있다.
상태분석 : 원자의 화학결합상태가 다르면 결합에너지의 값은 보통 수
X-ray photoelectron Spectroscopy는 광전자분광법(XPS)중 광원으로서 X선을 이용하는 방법으로 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)라고도 한다. X선이 물질에 입사하여 흡수되면 그 에너지에 의해서 허용되는 내각전자로부터 가전자까지 여기되어 원자는 이온화한다. 이 여기된 전자는 고체 시료의 경우, 일부
1. Introduction
DMFC(Direct Methanol Fuel Cell)를 상업화하는데 있어서 주된 기술적인 장애중의 하나는 산화전극에서 환원전극으로 polymer electrolyte membrane을 통해 일어나는 메탄올의 crossover이다. 메탄올은 electro-삼투가 촉매에 흡착하고, mixed potential(이것은 산소-감소와 메탄올 산화 반응이 동시에 일어난다.)
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
XPS의 장점
① 스펙트럼이 비교적 단순 → ∴ 스펙트럼선 방해가 적다.
② 비파괴 분석법
③ 거의 볼 수 없을 정도의 작은 반점에서 큰 물질까지의 시료를 분석 가능
④ 실험과정이 빠르고, 편리함
XPS의 단점
① 여러 분광법 만큼의 감도를 가지지 못함
→ 가장 적당한 조건에서, 수 ppm