챔버 내의 압력을 10-5Pa까지 떨어뜨린다.
(이때 이온화게이지를 통해 압력을 체크하는데 이온화게이지는 수명이 있으므로 켰다가 확인하고 끄도록했다.)
⑧ 열판에 열을 가하여 증착을 시작한다.
3)끌 때
① 모든 압력 gauge를 끈다.
② main 벨브를 잠그고 3way밸브를 close로 돌린 다음 오일 확
챔버(Chamber) 전극 제어부 및 배기라인과 냉각라인의 기본 시스템으로 되어 있다.
1차 펌프로는 저진공 펌프인 기계식 Rotary Pump를 사용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 Diffusion Pump를 사용한다. Rotary Pump로 Chamber에 진공을 잡아 준 후 더 낮은 기압을 갖는 진공을 잡아주려고 할 경우 Diffusion Pump를 이용하여
채널(channel), 시간(time), 그리고 사회체계의 구성원을 들고 있다. 따라서 본론에서는 개혁확산이론의 발전 경향과 핵심 사항들을 정리하고 로저스의 채택자 유형, 플랫폼 경제의 이면에 대한 네 가지 사항을 설명하고 특히 에코 챔버 현상에 대해 학생 본인의 경험을 위주로 예시를 들어 설명해 보겠다.
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가
2. 1. 1. 계면중합법
계면중합법은 혼합되지 않는 2개의 용매 중에 모노머를 용해하여 양액의 계면에서 고분자를 합성하는 계면중합반응을 이용해서 마이크로캡슐을 제조하는 방법이다. 원리는 그림 3에 나타내었다. 수용성모노머를 함유한 용액(수상)을 혼합되지 않는 용매중(유상)에 미세한 액적으
2-2. ICP
1) ICP 정의
아르곤(Ar)을 플라즈마 가스로 이용하여 고주파 발생기로부터 발생된 주파수(2.45GHz) 영역에서 유도코일에 의해 발생된 플라즈마 발생소스에는 평판형(planar)(와선형), 나선형(helical)(실린더형)
이 있다.
2) ICP의 원리
Coil에 고주파 가하면 자기장 발생
챔버 주위로 원형의
1. 이론적 배경
1) Cu-Ni 합금 주조 후 응고시의 문제상황
주조 시 냉각속도가 너무 빨라서 원자 확산의 평형조건을 만족시키지 못할 때 비평형 조직이 생긴다. 액체에서의 확산 속도와 고체에서의 확산 속도가 차이가 있기 때문에 빠르게 냉각 하면 냉각할수록 평형고상선에서 점점 멀어진 위의 그
챔버 주위로 원형의 유도전기장 발생
플라즈마 내 전자가 전기장 방향 따라 가속되어 에너지 얻음
고밀도 플라즈마 형성
3) ICP의 장단점
4) Helical 공명장치
ICP의 한 형태(차이점 : 공진을 이용)
나선형 공진기(helical resonator)가 Mhz
주파수 영역에서 작동
저압 플라즈마의 생
챔버 안의 증발된 분자량(ALQ3 분자량 : 459.44g/mol)
증착 속도
0.5Å/S
1Å/S
실험전 boat+ALQ3
1.728
1.754g
실험후 boat+ALQ3
1.721
1.749g
증발된 ALQ3 분자량
-0.8078 x 10-8 mol
-0.6058 x 10-8 mol
[계산식] - 이상기체로 가정한다.
T = 298K
V = 10L
= 458.98 로 둔다.
증착 전,
증착 후,
W1 : 처음 시료의 무게 , W2 : 증