beam evaporation), 열증착법 (Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법 (PLD, Pulsed Laser Deposition) 등이 있다.
스퍼터링 (Sputtering)의 특징은 플라즈마를 이용하여 표적제(금속)등을 작은 나노입자 들로만들어서 그것을 이용하여 코팅이나 기타공정을 수행하는 것이
MgxZn1−xO is crucial for applications as a barrier layer or quantum wells in ZnO/MgxZn1−xO heterostructures.
Energy bandgap of MgxZn1−xO : 3.37~ 7.8 eV (by incorporating Mg into ZnO)
However, the crystal structure of MgO is different from that of ZnO
- MgO : rock-salt cubic structure. ZnO : wurtzite hexagonal structure.
The different crystal structure induces the l
-PVD 물리 증착법 : 시간이 적게 드는 특징이 있다. (ex : 열증착, E-beam 증착법)
-CVD 화학 증착법 : 오래 걸리지만 박막을 표면에 고르게 증착시킬 수 있다.
1. Thermal Evaporator의 구조 및 설명
Thermal Evaporator의 설명
Evaporation의 방법으로는 thermal evaporation과 e-beam evaporation 그리고 이 둘을 조합하는 방법
ion 역할을 한다.
산화를 더하게 되면 음전하 이온이 고분자 사슬에 더욱 많아지게 되어 홀전자가 편재화 되어 있지 않고 사슬 전체를 이동하기 쉽게 되어 전도도를 가지게 된다.
중합법 전도성 고분자
첨가 중합법 폴리 아세틸렌
축합 중합법 Poly(p-phnyelene)
Poly(arylenevinylene)
Poly(p-phenylene sulfide)
Particles: environment, equipments, operation, chemicals, water
Metallic: equipments, human (Na), chemicals, process (RIE, ion implantation, metallization)
Organic: container, human, cosmetics,PR, Chemicals, ambient organic vapor
습식세정
단점
독성이 매우 강한 용액을 사용하여 위험
진공 장비들과 연계하여 연속적인 공정 수행 힘
beam의 세기 : 필라멘트의 온도, 전류 밀도, 가속전압에 의존
자체 바이어스가 인가된 전자총의 구조
Tungsten
필라멘트가 전자들의 souce로서 작용하는데 대표적인 필라멘트는 약 0.1mm(사람의 머리카락 굵기) 직경의 텅스텐 wire가 V-자 형태로 되어 전자총내에서 음극을 형성한다. 텅스텐은 금속이므로
Beam)을 이용하여 제작 한 후, 레지스트가 코팅된 기판위에 열을 가하거나 UV를 쬐어서 스탬프에 형성된 패턴과 동일한 형상을 모사하는 것이 나노 임프린트 리소그래피 기술이다.
① 열 나노임프린트 리소그래피(Heat-Nano Imprint Lithography)
나노 임프린트 리소그래피는 크게 두 가지의 방법이 있
1. 서 론
1.1 LED의 등장과 필요성
1879년 미국의 T.A. 에디슨에 의해 백열전구의 상업적 양산이 시작된 이래 전기를 이용한 조명의 개발은 매년 발전에 발전을 거듭해 왔다. 1920년대 말엔 과학자들에 의해 실험실에서 사용되던 형광등이 상업적으로 생산-판매되면서 널리 보급되기 시작했고, 그 이래 지
proteins, but there are (as of July 2011) no known structures of any OR. There is a highly conserved sequence in roughly three quarters of all ORs that is a tripodal metal ion binding site, and Suslick has proposed that the ORs are in fact metalloproteins (mostly likely with zinc, copper and possibly manganese ions) that serve as a Lewis Acid site for binding of many odorant molecules.