Dopant 종류에 따라
- N-Type : 5가 원소(P, Sb) 를 Dopant로 사용, 과잉전자 발생
- P-Type : 3가 원소(B) 를 Dopant로 사용, Hole 발생
결정성장 방향에 따라
- 100
- 111
웨이퍼의 직경에 따라
- 3인치, 4인치, 5인치, 6인치
실리콘은 회색의 깨지기 쉬운 비금속성 4족 원소로서 지구상 물질의 27.8%를 차지하는 자연계에서 산소 다음으로 풍부한 원소.
반도체 칩을 만들기 위해서먼저 추출된 실리콘을 얇은 판 모양의 웨이퍼 상태로 만들어야 한다.
순도 99.9% 이상의 단결정 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬은 것이
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)
할 친환경 & 고기능 세
정제 및 공정 개발 (고체산 + 오존수 2단계 공정)
반도체 세정 공정
웨이퍼 세정
-Wafer의 표면 상태를 Control 하는 공정
- 양질의 산화(Oxide)막 증착을 위한 자연 산화막의 제거
- Nitride 막의 제거
- 잔류 금속의 제거
- Organic 제거, 파티클 제거
Surface Micro Roughness Control
웨이퍼 공정
3백㎜(12인치)웨이퍼 공정 기술
현재 일반적으로 사용되고 있는 200㎜(8인치) 웨이퍼에 비하여 300㎜(12인치)웨이퍼의 최대 장점은 반도체소자의 제조원가 절감.
하지만 대체 제품인 300㎜ 웨이퍼가 신규라인 건설에 따른 비용부담이 과다하고 웨이퍼 자체의 신뢰성이 아직 검증되
웨이퍼 (wafer) 전체의 크기를 생각하면 이것은 물론 다결정이라고 해야 한다.
16메가 디램 (Mega DRAM, 1Mega=100만)은 기억셀의 전체 길이가 2 마이크론 (micrometer=1/1000 미리)이 못된다.
이 트랜지스터 입장에서 보면 1cm의 크기는 단결정으로 보일 것이다.
그러므로 단결정과 다결정은 그것을 사용하는 상
LG 실트론 소개
* 1987년 전신인 럭키소재(주)가 구미에 공장을 준공하면서 본격적인 웨이퍼 산업
* LG실트론으로 상호를 변경
* 동양전자 금속을 인수
* 구미1공장, 구미2공장, 구미3공장 이천공장 등 제조시설을 총 4곳으로 확장
* 매출 2,8000억원, 순익 250억원(